Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Argitaratua izan da: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Egile nagusia: | |
| Beste egile batzuk: | , |
| Formatua: | Artikulua |
| Hizkuntza: | English |
| Argitaratua: |
2001
|
| Gaiak: |