Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| I publikationen: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Huvudupphovsman: | |
| Övriga upphovsmän: | , |
| Materialtyp: | Artikel |
| Språk: | English |
| Publicerad: |
2001
|
| Ämnen: |