Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Wydane w: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| 1. autor: | |
| Kolejni autorzy: | , |
| Format: | Artykuł |
| Język: | English |
| Wydane: |
2001
|
| Hasła przedmiotowe: |