Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| 出版年: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| 第一著者: | |
| その他の著者: | , |
| フォーマット: | 論文 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
2001
|
| 主題: |
| 出版年: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
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| 第一著者: | |
| その他の著者: | , |
| フォーマット: | 論文 |
| 言語: | English |
| 出版事項: |
2001
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| 主題: |