Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Izdano u: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Glavni autor: | |
| Daljnji autori: | , |
| Format: | Članak |
| Jezik: | English |
| Izdano: |
2001
|
| Teme: |
| Izdano u: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Glavni autor: | |
| Daljnji autori: | , |
| Format: | Članak |
| Jezik: | English |
| Izdano: |
2001
|
| Teme: |