Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Τόπος έκδοσης: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Κύριος συγγραφέας: | |
| Άλλοι συγγραφείς: | , |
| Μορφή: | Άρθρο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
2001
|
| Θέματα: |