Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Cyhoeddwyd yn: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Prif Awdur: | |
| Awduron Eraill: | , |
| Fformat: | Erthygl |
| Iaith: | English |
| Cyhoeddwyd: |
2001
|
| Pynciau: |