Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Yayımlandı: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Yazar: | |
| Diğer Yazarlar: | , |
| Materyal Türü: | Makale |
| Dil: | English |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
2001
|
| Konular: |