Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Gepubliceerd in: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Hoofdauteur: | |
| Andere auteurs: | , |
| Formaat: | Artikel |
| Taal: | English |
| Gepubliceerd in: |
2001
|
| Onderwerpen: |