Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Pubblicato in: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
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| Autore principale: | |
| Altri autori: | , |
| Natura: | Articolo |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
2001
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| Soggetti: |