Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Udgivet i: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Hovedforfatter: | |
| Andre forfattere: | , |
| Format: | Article |
| Sprog: | English |
| Udgivet: |
2001
|
| Fag: |