Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Vydáno v: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Další autoři: | , |
| Médium: | Článek |
| Jazyk: | English |
| Vydáno: |
2001
|
| Témata: |
| Vydáno v: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Další autoři: | , |
| Médium: | Článek |
| Jazyk: | English |
| Vydáno: |
2001
|
| Témata: |