Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| الحاوية / القاعدة: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| المؤلف الرئيسي: | |
| مؤلفون آخرون: | , |
| التنسيق: | مقال |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2001
|
| الموضوعات: |