Pulsed 1064 nm Nd-YAG laser deposition of titanium on silicon in a nitrogen environment
| Gepubliceerd in: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 33-38 |
|---|---|
| Hoofdauteur: | |
| Andere auteurs: | , , |
| Formaat: | Artikel |
| Taal: | English |
| Gepubliceerd in: |
1999
|
| Onderwerpen: |