Pulsed 1064 nm Nd-YAG laser deposition of titanium on silicon in a nitrogen environment
| Izdano u: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 33-38 |
|---|---|
| Glavni autor: | |
| Daljnji autori: | , , |
| Format: | Članak |
| Jezik: | English |
| Izdano: |
1999
|
| Teme: |