Pulsed 1064 nm Nd-YAG laser deposition of titanium on silicon in a nitrogen environment
| Vydáno v: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 33-38 |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Další autoři: | , , |
| Médium: | Článek |
| Jazyk: | English |
| Vydáno: |
1999
|
| Témata: |