Pulsed 1064 nm Nd-YAG laser deposition of titanium on silicon in a nitrogen environment
| Wydane w: | Science Diliman Vol. 11, no. 2 (1999), 33-38 |
|---|---|
| 1. autor: | |
| Kolejni autorzy: | , , |
| Format: | Artykuł |
| Język: | English |
| Wydane: |
1999
|
| Hasła przedmiotowe: |