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    Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source 著者: Valmoria, Nico

    出版年 Science Diliman (1999)
    論文

    Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source
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    Negative ion beam focusing in a plasma sputter-type negative ion source 著者: Yambot, Miguel

    出版年 Science Diliman (1999)
    論文

    Negative ion beam focusing in a plasma sputter-type negative ion source

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