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    Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source von Valmoria, Nico

    Veröffentlicht in Science Diliman (1999)
    Artikel

    Synthesis of ZrN film via the plasma sputter-type negative ion source
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    Negative ion beam focusing in a plasma sputter-type negative ion source von Yambot, Miguel

    Veröffentlicht in Science Diliman (1999)
    Artikel

    Negative ion beam focusing in a plasma sputter-type negative ion source

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