Toon 1 - 1 resultaten van 1 Voor zoekopdracht 'Tercero, Jomar U.', zoektijd: 0,01s Verfijn jouw resultaten
  1. 1

    Etch-stop mechanisms in plasma-assisted atomic layer etching of silicon nitride: a molecular dynamics study door Tercero, Jomar U.

    Gepubliceerd in 2021
    Abstract
    Thesis

    Etch-stop mechanisms in plasma-assisted atomic layer etching of silicon nitride: a molecular dynamics study

Zoekinstrumenten: