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    MEMS reliability 著者: Hartzell, Allyson L.

    出版事項 2011
    Available for University of the Philippines Diliman via SpringerLink. Click here to access
    Electronic Resource

    MEMS reliability
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    Microsystem design 著者: Senturia, Stephen D. 1940-

    出版事項 2001
    図書

    Microsystem design

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