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  1. 1

    MEMS reliability par Hartzell, Allyson L.

    Publié 2011
    Available for University of the Philippines Diliman via SpringerLink. Click here to access
    Electronic Resource

    MEMS reliability
  2. 2

    Microsystem design par Senturia, Stephen D. 1940-

    Publié 2001
    Livre

    Microsystem design

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