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    MEMS reliability von Hartzell, Allyson L.

    Veröffentlicht 2011
    Available for University of the Philippines Diliman via SpringerLink. Click here to access
    Electronic Resource

    MEMS reliability
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    Microsystem design von Senturia, Stephen D. 1940-

    Veröffentlicht 2001
    Buch

    Microsystem design

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