Visas 1 - 1 av 1 resultat för sökning 'Nieh, R.E', Sökningstid: 0,01s Förfina resultatet
  1. 1

    Electrical characterization and material evaluation of zirconium oxynitride gate dielectric in TaN-gated NMOSFETs with high-temperature forming gas annealing. av Nieh, R.E

    Artikel

    Electrical characterization and material evaluation of zirconium oxynitride gate dielectric in TaN-gated NMOSFETs with high-temperature forming gas annealing.

Sökverktyg: