Rezultaty 1 - 1 Rezultaty od 1 Dla wyszukiwania 'Nieh, R.E', Czas wyszukiwania: 0,01s Redukuj rezultaty
  1. 1

    Electrical characterization and material evaluation of zirconium oxynitride gate dielectric in TaN-gated NMOSFETs with high-temperature forming gas annealing. od Nieh, R.E

    Artykuł

    Electrical characterization and material evaluation of zirconium oxynitride gate dielectric in TaN-gated NMOSFETs with high-temperature forming gas annealing.

Narzędzie wyszukiwania: