Toon 1 - 1 resultaten van 1 Voor zoekopdracht 'Nieh, R.E', zoektijd: 0,01s Verfijn jouw resultaten
  1. 1

    Electrical characterization and material evaluation of zirconium oxynitride gate dielectric in TaN-gated NMOSFETs with high-temperature forming gas annealing. door Nieh, R.E

    Artikel

    Electrical characterization and material evaluation of zirconium oxynitride gate dielectric in TaN-gated NMOSFETs with high-temperature forming gas annealing.

Zoekinstrumenten: