Näytetään 1 - 1 yhteensä 1 tuloksesta haulle 'Nieh, R.E', hakuaika: 0,01s Tarkenna hakua
  1. 1

    Electrical characterization and material evaluation of zirconium oxynitride gate dielectric in TaN-gated NMOSFETs with high-temperature forming gas annealing. Tekijä Nieh, R.E

    Artikkeli

    Electrical characterization and material evaluation of zirconium oxynitride gate dielectric in TaN-gated NMOSFETs with high-temperature forming gas annealing.

Työkalut: