Εμφανίζονται 1 - 1 Αποτελέσματα από 1 για την αναζήτηση 'Nieh, R.E', χρόνος αναζήτησης: 0,01δλ Περιορισμός αποτελεσμάτων
  1. 1

    Electrical characterization and material evaluation of zirconium oxynitride gate dielectric in TaN-gated NMOSFETs with high-temperature forming gas annealing. ανά Nieh, R.E

    Τόπος έκδοσης IEEE Transactions on electron devices
    Άρθρο

    Electrical characterization and material evaluation of zirconium oxynitride gate dielectric in TaN-gated NMOSFETs with high-temperature forming gas annealing.

Εργαλεία αναζήτησης: