Zobrazuji výsledky 1 - 1 z 1 pro vyhledávání 'Nieh, R.E', doba hledání: 0,01 s. Upřesnit hledání
  1. 1

    Electrical characterization and material evaluation of zirconium oxynitride gate dielectric in TaN-gated NMOSFETs with high-temperature forming gas annealing. Autor Nieh, R.E

    Článek

    Electrical characterization and material evaluation of zirconium oxynitride gate dielectric in TaN-gated NMOSFETs with high-temperature forming gas annealing.

Vyhledávací nástroje: