Toon 1 - 1 resultaten van 1 Voor zoekopdracht 'Belen, Rodolfo Pabalan Jr', zoektijd: 0,01s Verfijn jouw resultaten
  1. 1

    Etching high aspect ratio structures in silicon using sulfur hexafluoride/oxygen plasma door Belen, Rodolfo Pabalan Jr

    Gepubliceerd in 2006
    Full text access requires UP Webmail login
    Electronic Resource

    Etching high aspect ratio structures in silicon using sulfur hexafluoride/oxygen plasma

Zoekinstrumenten: