Näytetään 1 - 1 yhteensä 1 tuloksesta haulle 'Belen, Rodolfo Pabalan Jr', hakuaika: 0,01s Tarkenna hakua
  1. 1

    Etching high aspect ratio structures in silicon using sulfur hexafluoride/oxygen plasma Tekijä Belen, Rodolfo Pabalan Jr

    Julkaistu 2006
    Full text access requires UP Webmail login
    Electronic Resource

    Etching high aspect ratio structures in silicon using sulfur hexafluoride/oxygen plasma

Työkalut: